weitere Veranstaltungen, Halbleiter-Kolloquium

ONLINE | Cluster-Vortragsreihe Fraunhofer IISB (online): 'Reparatur von Defekten auf Lithographiemasken'

Datum: 18/07/2021

Ort: Online, Deutschland

Interner Bereich

für Cluster-Akteure

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ONLINE | Cluster-Vortragsreihe Fraunhofer IISB (online): 'Reparatur von Defekten auf Lithographiemasken'

Halbleiter-Kolloquium in Kooperation mit dem Cluster Leistungselektronik

Die Teilnahme ist kostenfrei und offen für alle Interessierten. Eine Voranmeldung ist nicht erforderlich.

Beginn: 17:15 Uhr


Für die Teilnahme am MS Teams-Meeting ist keine Installation notwendig. Das Meeting ist kostenlos und kann über den Browser abgerufen werden

Nutzen Sie die Gelegenheit, um sich zu informieren. Leiten Sie diese Informationen gerne auch an interessierte Kollegen weiter.



  • Maskenreparatur mit fokussierten Elektronenstrahlen für die
    Herstellung von 3-nm-Knoten-Halbleitern

    Tilmann Heil, Carl Zeiss SMT GmbH, Roßdorf
  • KI-unterstützte Defekterkennung auf Lithographiemasken
    Peter Evanschitzky, Fraunhofer IISB, Erlangen



Am MS-TEAMS Meeting teilnehmen

Rechtliche Hinweise

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ONLINE | Cluster-Vortragsreihe Fraunhofer IISB (online): 'Reparatur von Defekten auf Lithographiemasken'

Datum: 18/07/2021

Ort: Online, Deutschland

Cluster Leistungselektronik im ECPE e.V.
Ostendstraße 181
D-90482 Nürnberg, Deutschland
Telefon: +49 (0)911 81 02 88-0

Informationen zu Veranstaltungen

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